仕事内容
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大手総合電機メーカーグループの半導体製造会社にて、イオン注入工程のプロセスエンジニアを担当いただきます。丁寧に研修および教育を受けていただきますので安心して就業できます。
イオン注入とはイオン化した物質を固体に注入することによって、その固体の特性を変化させる加工方法です。
半導体製造における前工程などでは、イオン注入を用いることによって、ウェハに適度な不純物を導入することができ、半導体デバイス特性を向上させることができます。
概要として以下の業務をお任せします。
・イオン注入装置の選択
・イオン種の選択
・イオン注入量の設定
・イオン注入条件の設定
・イオン注入プロセスの評価などを行い、半導体ウェーハに必要な不純物を注入
イオン注入は以下の特徴があります。
・注入深さ制御可能:イオンの注入深さは、加速電圧を調整することで制御可能です。侵入深さは最大でも1μmと比較的浅い領域です。
・注入量が測定可能:ウェーハに流れ込むイオン電流を測定することで、イオンの注入量が定量可能です。
・高純度に注入可能:質量分離器により不要な元素・イオンを除去できるため、熱拡散法よりも高純度に注入可能です。
・位置精度が高い:イオンビームは直進性が高い為、狙った位置にイオンを注入できます。複雑で微細なデバイス構造の作成に有利です。
・回復熱処理が必要:イオン注入されると、注入された領域が非晶質化するため、必ず回復熱処理が必要です。
<注入の流れ>
①イオン源
目的の不純物元素を発生させます。PH3(ホスフィン)やB2H6(ジボラン)といった原材料ガスが使用されます。
②引出電極
発生したイオンを正の電界によって引き出します。電界を発生させるための電圧を「引き出し電圧」と呼びます。
③質量分析器
磁場の作用で不要なイオンを除去します。不要なイオンとしては、目的の不純物以外の元素や、多価イオンなどがあります。
④分析スリット
質量分析の分解能を向上させるためのスリットです。スリット幅が狭いほどイオンの選択精度が向上します。
⑤加速管
電場をかけた管にイオンを通すことで、注入に必要な加速エネルギーをイオンに与えます。
⑥偏向器
イオンの入射位置を精度よく制御するため、イオンビームを偏向します。
⑦Qレンズ
広がっているイオンビームを、磁界により絞るレンズです。
⑧走査器
イオンビームの方向を操作する装置です。イオンビームは照射径が小さい為、ウェーハ全面に当てるには操作する必要があります。
イオン注入プロセス開発は、半導体製造プロセスの重要な工程の一つであり、半導体デバイスの性能を左右する重要な役割を果たしています。
対象となる方
*【活かせる経験・スキル】*
・高専や大学・大学院にて化学、物理学、機械工学、材料工学、電気工学、高分子化学、応用物理(光・真空・イオン)、電子工学のいずれかの学部学科での学習・研究経験
-
熊本県菊池郡
交通手段・勤務地補足
自動車通勤可能
-
年収320万円~352万円
給与補足・福利厚生・受動喫煙防止措置など
⭐️加入保険:健康・厚生・雇用・労災
⭐️昇給:年1回(前年度実績:1月あたり4,000円~25,000円)
⭐️賞与:年2回(前年度実績/計4.00ヵ月分/支給月:7月と12月)
⭐️定年60歳、再雇用65歳まで
⭐️退職金制度あり(勤続3年以上)
⭐️健康診断
⭐️技術セミナー受講手当
⭐️専門図書購入手当
⭐️各種特別報奨金等
⭐️レクリエーション活動
⭐️技術交流会(年3回)
⭐️試用期間:6ヵ月(給与条件などの変動はございません)
⭐️各種手当:時間外・出張・資格・家族・通勤・住宅
*【年収アップ事例】*
前職技術者派遣24歳 前職380万円→現在474万円(月給29.6万円)
前職メーカー33歳 前職380万円→現在420万円(月給26.3万円)
前職メーカー47歳 前職420万円→現在532万円(月給33万円)
*【年収例】*
850万円/49歳・経験者・入社7年目(月給50万円+賞与+諸手当)
650万円/36歳・経験者・入社8年目(月給35万円+賞与+諸手当)
500万円/32歳・経験者・入社3年目(月給31万円+賞与)
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正社員
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プロジェクト先に合わせて若干の変動がございます。※日勤
【休日・休暇】
完全週休2日制(土日祝)
※土曜日出勤の場合あり(祝日のある週の土曜日年数日程度)
※プロジェクト先によって変動します
・年末年始休暇
・夏季休暇
・GW休暇
・有給休暇
・慶弔休暇
・育児、介護休暇
・特別休暇
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経験者歓迎
学歴不問
女性活躍
男性活躍
交通費支給
寮・社宅あり
資格取得支援
賞与あり
昇給あり
社会保険完備
産休・育休取得実績あり
土日祝休みあり
週休2日制
即日勤務OK
急募
- 職場の雰囲気
- 仕事のスタイル
- 活かせる持ち味
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にぎやかな職場
123落ち着いた職場
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男性が多め
12345女性が多め
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結果で評価
123がんばりで評価
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新メンバーが多い
123ベテランが多い
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年齢層 20代以下
1234560代以上
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一人ですすめる
123チームで連携
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スピード重視
123丁寧さ重視
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自分の都合に合わせやすい
123時間内できっちり
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新しい仕事が多い
123決まった仕事が多い
-
お客様との会話が多い
123お客様との会話が少ない
-
話すことが得意
123聞くことが得意
-
まずやってみる
123慎重に計画する
-
変化を求める
123繰り返しでも飽きない
-
自分のアイディアを活かす
123決められたことを確実に
-
何事にも物怖じしない
123周囲との調和を大事にする
株式会社スターワークス
選考について
ーーーーー*【ご応募の流れ】*ーーーーー
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⏩書類選考・面接
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